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矽晶中的過渡金屬雜質之吸氣方法

獨立行政法人科學技術振興機構

申請案號
092100378
公告號
200301786
申請日期
2003-01-09
申請人
獨立行政法人科學技術振興機構
發明人
吉田博
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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矽晶中的過渡金屬雜質之吸氣方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通