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專利資訊
矽晶中的過渡金屬雜質之吸氣方法
獨立行政法人科學技術振興機構
申請案號
092100378
公告號
200301786
申請日期
2003-01-09
申請人
獨立行政法人科學技術振興機構
發明人
吉田博
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C30B15/04
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