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專利資訊
碳化矽監控晶圓之製造方法
三井造船股份有限公司
申請案號
092100674
公告號
200303580
申請日期
2003-01-14
申請人
三井造船股份有限公司
發明人
山田公
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/304
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