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專利資訊
晶圓缺陷之快速線上電光偵測之方法及系統
奈格夫泰克公司
申請案號
092100777
公告號
200412639
申請日期
2003-01-15
申請人
奈格夫泰克公司
發明人
蓋德 紐曼
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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