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專利資訊
晶圓載具門及具有沙漏型凸鍵槽之鎖存機構
安堤格里斯公司
申請案號
092100789
公告號
200303065
申請日期
2003-01-15
申請人
安堤格里斯公司
發明人
蕭恩 埃岡姆
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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