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具有適合安裝形狀之機構蓋部的晶圓載具門

恩特葛瑞斯股份有限公司

申請案號
092100908
公告號
200303066
申請日期
2003-01-16
申請人
恩特葛瑞斯股份有限公司
發明人
蕭恩　埃岡姆
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/68
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具有適合安裝形狀之機構蓋部的晶圓載具門 - 專利資訊 | NowTo 智財通