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模擬繞射信號之數據庫與週期性光柵之假想輪廓的產生方法及系統

東京威力科創美國股份有限公司

申請案號
092100944
公告號
200307884
申請日期
2003-01-16
申請人
東京威力科創美國股份有限公司
發明人
牛辛惠
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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