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專利資訊
預防晶圓重複沉積之方法
旺宏電子股份有限公司
申請案號
092100954
公告號
200414389
申請日期
2003-01-17
申請人
旺宏電子股份有限公司
發明人
鄭穆遠
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/64
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