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製備烷基VA族金屬化合物之方法,製造電子裝置之方法,以及沉積VA族金屬層之方法
希普列公司
申請案號
092100959
公告號
200302203
申請日期
2003-01-17
申請人
希普列公司
發明人
迪歐戴塔 維納亞克 雪納 凱特開
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C01B19/04
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