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專利資訊
圖案測試裝置
NEC電子股份有限公司
申請案號
092101136
公告號
200304193
申請日期
2003-01-17
申請人
NEC電子股份有限公司
發明人
安藤 彰彥
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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