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專利資訊
方形板狀工件之移載方法及移載裝置
光洋熱系統股份有限公司
申請案號
092101709
公告號
200411804
申請日期
2003-01-27
申請人
光洋熱系統股份有限公司
發明人
熊谷陽介
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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