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專利資訊
以低能量雷射光源製作大面積之石刻曝光系統
國防部中山科學研究院
申請案號
092101904
公告號
200413858
申請日期
2003-01-29
申請人
國防部中山科學研究院
發明人
王康華
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/20
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