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專利資訊
用於半導體製程設備之抗鹵素陽極化鋁
應用材料股份有限公司
申請案號
092102459
公告號
200302879
申請日期
2003-02-06
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
林宜新
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C8/08
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