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專利資訊
加熱基板支撐器
應用材料股份有限公司
申請案號
092102606
公告號
200302913
申請日期
2003-02-07
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
伊曼紐比爾
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
F28F9/007
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