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專利資訊
光刻裝置及其製造方法
ASML荷蘭公司
申請案號
092102656
公告號
200305785
申請日期
2003-02-10
申請人
ASML荷蘭公司
發明人
羅柏特斯 喬哈奈斯 馬利那斯 迪 強夫
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/20
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