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專利資訊
金屬基質之化學-機械研磨方法
默克專利有限公司
申請案號
092102770
公告號
200400553
申請日期
2003-02-11
申請人
默克專利有限公司
發明人
派崔斯畢伍德
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/304
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