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專利資訊
電漿處理裝置
佳康科技有限公司
申請案號
092103000
公告號
200302875
申請日期
2003-02-13
申請人
佳康科技有限公司
發明人
哥登R 葛瑞恩
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C14/34
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