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化學機械研磨墊

中芯國際集成電路製造(上海)有限公司

申請案號
092103142
公告號
200414973
申請日期
2003-02-14
申請人
中芯國際集成電路製造(上海)有限公司
發明人
黃河
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

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化學機械研磨墊 - 專利資訊 | NowTo 智財通