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專利資訊
探測區域的設定方法及探測裝置
東京威力科創股份有限公司
申請案號
092103934
公告號
200305246
申請日期
2003-02-25
申請人
東京威力科創股份有限公司
發明人
三浦洋三
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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