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使用高良率頻譜散射計量法以控制半導體製程之方法以及執行該方法之系統
高級微裝置公司
申請案號
092103984
公告號
200303590
申請日期
2003-02-26
申請人
高級微裝置公司
發明人
詹姆士 部羅克 史卓特
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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