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一種用於容納複數個晶圓之晶圓容器、在一前開口晶圓容器中限制複數個晶圓之方法及在一前開口晶圓容器中使晶圓脫離一彈性體晶圓限制襯墊之方法
安堤格里斯公司
申請案號
092104016
公告號
200305247
申請日期
2003-02-26
申請人
安堤格里斯公司
發明人
葛雷格里 伯爾斯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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