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專利資訊
支撐台及無塵室
特麗康科技有限公司
申請案號
092104276
公告號
200305249
申請日期
2003-02-27
申請人
特麗康科技有限公司
發明人
高登R 格倫
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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