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專利資訊
生產工具中可重複後段蝕刻關鍵尺寸之方法
應用材料股份有限公司
申請案號
092104332
公告號
200305250
申請日期
2003-02-27
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
大衛S L 慕
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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