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專利資訊
液處理裝置及液處理方法
東京威力科創股份有限公司
申請案號
092104415
公告號
200401387
申請日期
2003-03-03
申請人
東京威力科創股份有限公司
發明人
上川裕二
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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