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表面經改良的石英玻璃坩堝及其改良方法

日商ＳＵＭＣＯ股份有限公司

申請案號
092104418
公告號
200304394
申請日期
2003-03-03
申請人
日商ＳＵＭＣＯ股份有限公司
發明人
辻元俊夫
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

B01L3/04
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