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專利資訊
多層結構中測量各層性質之裝置及方法
應用材料股份有限公司
申請案號
092104457
公告號
200307138
申請日期
2003-03-03
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
彼德 波登
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G01R31/265
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