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專利資訊
評估多層結構之隙縫
應用材料股份有限公司
申請案號
092104458
公告號
200305241
申請日期
2003-03-03
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
彼德 波登
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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