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專利資訊
薄膜形成方法
羅姆股份有限公司
申請案號
092104501
公告號
200305933
申請日期
2003-03-04
申請人
羅姆股份有限公司
發明人
西山憲和
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/20
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