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專利資訊
短波長成像用之負型光阻劑
希普列公司
申請案號
092104504
公告號
200305059
申請日期
2003-03-04
申請人
希普列公司
發明人
喬治G 巴克萊
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/004
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