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專利資訊
真空中之基板保持方法、液晶顯示裝置之製造方法及基板保持裝置
艾美柯技術股份有限公司
申請案號
092104649
公告號
200402115
申請日期
2003-03-05
申請人
艾美柯技術股份有限公司
發明人
橫山直人
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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