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專利資訊
金屬膜之製造方法及製造裝置
佳能安內華股份有限公司
申請案號
092104656
公告號
200308002
申請日期
2003-03-05
申請人
佳能安內華股份有限公司
發明人
坂本仁志
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/28
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