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用於半導體製程裝置之低污染元件及製造該元件之方法

藍姆研究公司

申請案號
092104675
公告號
200305198
申請日期
2003-03-05
申請人
藍姆研究公司
發明人
羅柏特　Ｊ　歐當那
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/20
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用於半導體製程裝置之低污染元件及製造該元件之方法 - 專利資訊 | NowTo 智財通