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專利資訊
與狀態及控制設備作互動的方法
東京威力科創股份有限公司
申請案號
092105367
公告號
200400539
申請日期
2003-03-12
申請人
東京威力科創股份有限公司
發明人
馬利特 馮克
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/02
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