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專利資訊
強化之化學機械平坦化用帶
蘭姆研究公司
申請案號
092105436
公告號
200304180
申請日期
2003-03-12
申請人
蘭姆研究公司
發明人
林際兵
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/304
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