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專利資訊
使用相位移及輔助特徵以圖型化半導體層
英特爾公司
申請案號
092105909
公告號
200408905
申請日期
2003-03-18
申請人
英特爾公司
發明人
理察 先克
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F1/00
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使用相位移及輔助特徵以圖型化半導體層 - 專利資訊 | NowTo 智財通