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用以於連續處理複數個物件時避免初始溫度下降之熱處理裝置
東京威力科創股份有限公司
申請案號
092106022
公告號
200308025
申請日期
2003-03-19
申請人
東京威力科創股份有限公司
發明人
鈴木富士雄
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/324
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