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專利資訊
在真空環境下操持平板物之裝置
美商布魯克斯自動機械美國公司
申請案號
092106114
公告號
200305968
申請日期
2003-03-20
申請人
美商布魯克斯自動機械美國公司
發明人
旦尼士普魯
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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