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專利資訊
避免出氣污染之前開式晶圓盒以及避免出氣污染之方法
力晶半導體股份有限公司
申請案號
092106128
公告號
200419691
申請日期
2003-03-20
申請人
力晶半導體股份有限公司
發明人
吳榮原
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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