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專利資訊
光阻用聚合物化合物之製法
泰舍爾化學工業股份有限公司
申請案號
092106142
公告號
200307176
申請日期
2003-03-20
申請人
泰舍爾化學工業股份有限公司
發明人
渡邊仁志
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/038
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