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專利資訊
銅線路模組控制
應用材料股份有限公司
申請案號
092106551
公告號
200401382
申請日期
2003-03-24
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
阿魯庫馬 P 山姆卡森卓門
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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