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專利資訊
於基板上形成薄膜層之方法
應用材料股份有限公司
申請案號
092106756
公告號
200306359
申請日期
2003-03-26
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
肯 S 羅
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C16/515
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