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專利資訊
利用光學測量判斷殘留薄膜之方法
東芝股份有限公司
申請案號
092106778
公告號
200403780
申請日期
2003-03-26
申請人
東芝股份有限公司
發明人
窪田 壯男
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/66
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