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利用百萬週波超音波轉換器之諧振器施行之現場局部加熱

蘭姆研究公司

申請案號
092106877
公告號
200400565
申請日期
2003-03-26
申請人
蘭姆研究公司
發明人
約翰　Ｍ　柏依
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

H01L21/324
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利用百萬週波超音波轉換器之諧振器施行之現場局部加熱 - 專利資訊 | NowTo 智財通