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專利資訊
化學增幅光阻劑組成物
臺灣永光化學工業股份有限公司
申請案號
092107089
公告號
200419305
申請日期
2003-03-28
申請人
臺灣永光化學工業股份有限公司
發明人
陳啟盛
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G03F7/004
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