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專利資訊
離子佈植系統
台灣茂矽電子股份有限公司
申請案號
092107203
公告號
200419656
申請日期
2003-03-28
申請人
台灣茂矽電子股份有限公司
發明人
洪勝峰
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/265
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