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專利資訊
供指示膜層變化用之寬頻帶光學終點量測系統與方法
蘭姆研究公司
申請案號
092107218
公告號
200401102
申請日期
2003-03-28
申請人
蘭姆研究公司
發明人
夫拉地米爾 凱茲
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
G01J3/00
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