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專利資訊
半導體裝置製造線
三菱電機股份有限公司
申請案號
092107231
公告號
200404347
申請日期
2003-03-31
申請人
三菱電機股份有限公司
發明人
岩崎順次
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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