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專利資訊
晶圓濕蝕刻夾持治具
弘塑科技股份有限公司
申請案號
092107423
公告號
200421519
申請日期
2003-04-01
申請人
弘塑科技股份有限公司
發明人
潘進財
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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