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專利資訊
用於處理裝置之工件支持器及使用該工件支持器之處理裝置
住友電氣工業股份有限公司
申請案號
092107513
公告號
200307337
申請日期
2003-04-02
申請人
住友電氣工業股份有限公司
發明人
夏原益宏
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
H01L21/68
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