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專利資訊
加工基材的方法
應用材料股份有限公司
申請案號
092107526
公告號
200306360
申請日期
2003-04-02
申請人
應用材料股份有限公司
發明人
底尼斯 帕帝
資料更新日
2026-04-04
IPC 分類
C23C18/31
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