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對於薄膜形成裝置的基板的交換單元及基板交換方法

ＴＤＫ股份有限公司

申請案號
092107774
公告號
200305875
申請日期
2003-04-04
申請人
ＴＤＫ股份有限公司
發明人
越川政人
資料更新日
2026-04-04

IPC 分類

G11B7/26
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